EDS 構成要素分析
プロジェクト導入
エネルギー分散スペクトロメトリ (EDS) は,サンプル分析と特徴付けに使用される分析技術である.通常は,スキャン電子顕微鏡と伝送電子顕微鏡と組み合わせて,材料の微小領域内の元素の種類と含有量を分析するために使用されます.: 電子束が材料と相互作用するときに生成される特徴的なX線は,サンプル化学組成に関する情報を提供するために使用されます.そしてほとんどの元素 (Be4-PU94) は,質的にも半量的にも検出できる.表面汚染物質も分析できます

成分分析研究室

実験原理
現代のスキャン電子顕微鏡と伝送電子顕微鏡では,エネルギー分散スペクトロメーター (EDS) が重要なアクセサリーです.メインマシンと光学システムのセットを共有ポイント分析,表面分析,線形分析を材料の化学組成について行うことができる.

EDS の 利点
(1) 分析速度と効率が速い.原子番号が11から92の元素 (Cのような超軽元素でさえ) の質的および定量的な分析を同時に行うことができます.NとO)
(2) 安定性と繰り返しが良い.
(3) 粗い表面 (骨折など) の部品分析に使用できる.
(4) 材料の部品分離等を測定できる.

EDSの作業原理
The probe receives characteristic X-ray signals → converts characteristic X-ray light signals into electrical pulse signals with different heights → amplifier amplifies the signals → multi-channel pulse analyzer encodes pulse signals representing X-rays of different energies (wavelengths) into different channels according to their heights → displays spectrum lines on the fluorescent screen → uses computers for qualitative and quantitative calculations.

EDSの構造
1検出器:X線光子信号を電気パルス信号に変換し,パルス高さはX線光子のエネルギーに比例します.

2増幅器:電気パルス信号を増幅します.

3複数のチャンネルパルス高さ分析機: パルスは高さに応じて異なるチャンネルにプログラムされます.異なる特性のX線が エネルギーによって区別されます.

4信号処理と表示システム:識別スペクトル,定量および定量計算;分析結果を記録する.

EDS分析
1質的分析:EDSスペクトルのピークは,サンプルに存在する要素を表します.質的分析は,未知のサンプルを分析する最初のステップです.含まれている要素を特定する. 元素の種類を正しく特定できない場合,最終的な定量分析の正確性は意味がない.通常,サンプルの主な構成要素は信頼性のある方法で特定できます.微小元素や微小元素の決定のため精度が高くなるのは,スペクトル線干渉,歪み,各要素のスペクトル線システムに注意深く取り組むことによってのみである.定性分析は自動定性分析と手動定性分析に分かれます自動定性分析は,エネルギー位置に応じてピーク位置を決定します."操作/定性分析"ボタンをクリックすると,スペクトル各ピーク位置に対応する要素シンボルが表示されます自動的な定性分析は認識速度が速いが,スペクトルピークの重複による深刻な干渉により,特定のエラーが発生する.

2定量分析: 定量分析は,X線の強さによってサンプル材料を構成する様々な元素の濃度を得ることです.実際の状況に応じて,未知のサンプルと標準サンプルの強度比を測定するための方法を探し,提案しました定量調整後,強度比を濃度比に変換する.最も広く使用される定量調整技術はZAF修正である.

3元素表面分布分析:ほとんどの場合,電子束はサンプルの一定の点にのみ射出され,この点のX線スペクトルと成分含有量を得ます.ポイント分析方法と呼ばれる現代の新しいSEMでは,サンプルの一定の領域のさまざまな構成要素分布状態のほとんどを得ることができます.電子ビームがサンプルに二次元スキャンされます特徴的なX線の強度を測定し,この強さに対応する明るさの変化がスキャン信号と同期され,カソード線チューブCRTに表示されるようにこの分析方法は,元素表面分布分析方法と呼ばれます.元素の二次元分布を測定するための非常に便利な方法です.